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长度约6.8米氮气纯化手套箱设备
长度约6.8米氮气纯化手套箱设备

l 设备组成:包括不限于手套箱主体、可拆卸带手套的可视安全玻璃视窗、过渡舱、氮气循环净化系统、真空系统、PLC控制显示操作系统、储物支架等
长度约6.8米氮气纯化手套箱设备详细介绍

长度约6.8米氮气纯化手套箱设备

l  设备组成:包括不限于手套箱主体、可拆卸带手套的可视安全玻璃视窗、过渡舱、氮气循环净化系统、真空系统、PLC控制显示操作系统、储物支架等

2.手套箱主体规格

l  手套箱主体尺寸规格:长度约6.8米(实际长度以量测为准);宽度约1米(实际宽度以手套箱内部设备尺寸位置),高度不能不超过2米;与真空腔室对接的手套箱尺寸长度约1.3米;

主体材质: 不锈钢;

l  安全观察窗:配合操作,需要搭配多个安全观察窗,安全观察窗材质钢化玻璃;

l  安全观察窗手套接口规格:数量以方便操作为主,接口需润滑性好、易于维护、密封性能好;

l  手套材质:丁基橡胶;数量以实际需求为主;

l  照明系统:为便于工作,手套箱内需有照明系统;

l  电源接口:为便于后期使用,手套箱内需预留电源接口;

l  压力计:实时监控手套箱内压力;

l  储物架:普通位置至少2层的搁置物品的支架,材质不锈钢;储物架可拆卸,不需要的手套箱可以拆卸掉;另外,在连接G13前端的位置处要有8个可以暂放基板框架的储存架,储存架长宽约35cm*35cm;(细节需要讨论)

l  预留KF40标准接口:每个工位预留不少于3个;

l  设备颜色:油漆部分不能有脱落、污渍;

l  不锈钢支架:带便于推动的万向轮,有调节水平的脚座;

l  备件:5双备用手套;

l  过渡仓规格:按照实际需求,设计大小过渡仓,过渡舱带压力表、进出气接口等;过渡舱与手套箱焊接必须密封;

l  对接规格:(如示意图)

a.手套箱需要与前端G11设备的loadlock-1进行对接,此处我方无图纸,需要手套箱厂商根据实物自行设计图纸并完成对接方案;LL-1处已有手套箱,手套箱内有3台设备,旧手套箱拆除后,内部3台设备需要保留,保留的设备要放入新手套箱内,届时中标的新手套箱厂商要负责3台设备的移入和对接(如管路、线路、信号等);

b.手套箱需要与后端G13设备的loadlock-3进行对接,此处我方有图纸,需要手套箱厂商根据实物和图纸完成对接方案;另,LL-3处有传送基板的滚轮,手套箱厂商需要根据LL-3的需求,预留按照滚轮的位置和空间;

c.手套箱中间部位需要外接真空设备的loadlock-2,手套箱厂商需要配合真空设备的法兰或闸阀完成对接方案;

d.手套箱前后对接的G11设备和G13设备已经固定,手套箱厂商需要根据实际状况自行设计方案,在不移动设备的前提下完成设备对接;真空设备目前采购中,会从示意图loadlock-2位置进行对接,手套箱厂商要配合真空设备完成loadlock-2的对接;

e.手套箱的主要责任区域为如下图中的黄色标识区域。

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