RION液体粒子在线监测系统

液体中的粒子污染对产品质量有着显著的影响。此外，在人们的消费生活中悬浮于液体的粒子特性对人类也有影响，所以在各个领域对于液体中粒子的控制也变得尤为重要。液体粒子实时在线监测系统可以对用户液体流路进行实时动态监测，同时产生报表，用于问题查找分析，是用户生产管理*的一部分。

液体粒子实时在线监测系统

RION液体粒子在线监测系统

主要应用领域

液体粒子计数器的使用主要是为了控制化学品种的粒子，如半导体制作过程中的材料SOG（旋转涂布玻璃）和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂（比如碱、有机溶剂）。另外，也可以检测化学机械抛光中大粒径的研磨液等。

特殊气体粒子监测系统

使用在半导体、平板显示器、太阳能电池和其他行业的产品处理中的许多原材料气体是有毒、易燃、腐蚀性和活跃性的。比如这些气体会和水汽发生反应从而轻易产生颗粒物。控制这些反应从而抑制粒子在特殊气体中的污染是很有必要的。